| النظام البصري | الهيكل البصري | جبل باستشن رونج |
| دائرة رولاند القطر | 350 نانومتر | |
| نطاق الطول الموجي | 130nm-800nm 200nm-800nm | |
| كاشف | عالية الدقة CCD كاشفات متعددة | |
| درجة الفراغ | التحكم السياسي في غضون 6-15 pa | |
| دقة البكسل | 30 مساءً | |
| طيف كامل | ||
| يتم التحكم في درجة حرارة الغرفة الضوئية تلقائيًا | ||
| مصدر الشرارة | النوع | قوس رقمي ومصدر شرارة/ مولد بلازما جديد |
| تردد الشرارة | 100-1000HZ | |
| تيار البلازما | 1-80A | |
| جهد الاشتعال | > 7000V | |
| حامل شرارة | الأرجون شحم مع الحد الأدنى من استهلاك الأرجون | |
| رش التفريغ التكنولوجيا القطب | ||
| مشبك عينة قابل للتعديل | ||
| أخرى | العناصر القابلة للقياس | قاعدة الحديد ، قاعدة آل ، قاعدة النحاس ، قاعدة الزنك ، إلخ |
| البعد | 800 مم (L) * 700 مم (W) * 470 مم (H) | |
| الوزن | حوالي 100kg | |
| درجة حرارة التخزين | 0 ℃ -45 ℃ | |
| درجة حرارة التشغيل | 10 ℃ -30 ℃ ، 23 ± 2 ℃ يوصى بها | |
| الطاقة | AC220V/50Hz (مخصص) | |
| استهلاك الطاقة | الإثارة: 700W/الوقوف بواسطة: 100W | |
| جودة الأرغون | 99.999٪، ضغط الأرغون > 4Mpa | |
| استهلاك الأرغون | 5L/دقيقة خلال وضع شرارة | |